Dessa patronvärmare är speciellt konstruerade för användning i waferbearbetningsutrustning, där de måste arbeta kontinuerligt vid temperaturer upp till 600 grader i renrumsmiljö. Den japanska kunden, en stor aktör inom industrin för tillverkning av halvledarutrustning, krävde värmare med exceptionell termisk stabilitet och extremt låga utgasningsegenskaper för att bibehålla de ultra-rena förhållanden som krävs för chiptillverkning. Vårt tekniska team utvecklade en skräddarsydd design med ett mantelmaterial av rostfritt stål 310S, valt för dess överlägsna oxidationsbeständighet vid höga-temperaturer och en specialiserad låg-avgasande magnesiumoxidisoleringskvalitet.
Tillverkningen av dessa hög-temperaturvärmare involverar flera specialiserade processer. Motståndstråden, gjord av järn-krom-aluminiumlegering med hög -renhet, är lindad med exakt stigningskontroll för att säkerställa enhetlig värmegenerering längs hela den uppvärmda längden. Sårenheten sätts in i 310S rostfria stålrör, som genomgår en speciell invändig poleringsprocess för att avlägsna eventuella ytföroreningar som kan bidra till avgasning. MgO-fyllningsprocessen sker i en miljö med kontrollerad luftfuktighet för att förhindra fuktabsorption, vilket kan leda till avgasning under drift med hög-temperatur. Efter fyllning sänks rören för att uppnå den erforderliga packningsdensiteten och utsätts sedan för en hög{10}}temperaturglödgningsprocess i en vakuumugn för att avlägsna eventuell återstående fukt och stabilisera den inre strukturen.
